橢圓偏振光譜（SE）是一種成熟的光學(xué)技術(shù)，用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料，薄膜，涂層，表面層和嵌入層。對(duì)于常規(guī)和晶圓廠加工質(zhì)量控制，必須有一個(gè)自動(dòng)盒式裝...

橢圓偏振光譜儀SE-Solar專為光伏（PV）應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它可以配置為覆蓋DUV到NIR范圍，可以使用手動(dòng)測(cè)角儀以5度間隔改變?nèi)肷浣牵部梢耘渲脼樽詣?dòng)測(cè)角儀，分...

對(duì)于某些應(yīng)用（例如MEMS或半導(dǎo)體產(chǎn)品晶圓上的功能），希望有一個(gè)小的探測(cè)點(diǎn)。將顯微分光光度計(jì)與橢圓偏振光度計(jì)集成在一起后，工具的功能將大大擴(kuò)展?？赏ㄟ^(guò)橢圓偏振光...

紅外光譜橢圓儀（IRSE）可以表征材料的結(jié)構(gòu)（厚度，界面，表面粗糙度，污染），光學(xué)（光學(xué)常數(shù)），電（導(dǎo)電性）以及化學(xué)信息。

光譜橢偏儀可配置從DUV到NIR的波長(zhǎng)范圍。DUV范圍可用于測(cè)量超薄膜，如納米厚度范圍。比如硅晶片上的原生氧化物，其通常僅為約1至2nm厚。當(dāng)用戶需要測(cè)量許多材...